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	1.	封面仅供参考	集成电路制造：科学与技术：science and technology 点击获取本书详情信息订购中著者: (美) 詹姆斯·D. 普卢默彼得·B. 格里芬著出版社: 机械工业出版社出版日期: 2026 文献类型: 图书 , 索书号: TN405/21 在馆信息图书信息概览
	2.	封面仅供参考	硅超大规模集成电路工艺技术：理论、实践与模型点击获取本书详情信息订购中著者: James D. Plummer Michael D. Deal Peter B. Griffin 著出版社: 电子工业出版社出版日期: 2005.12 文献类型: 图书 , 索书号: TN47/P974(Y) 在馆信息图书信息概览

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