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	1.	封面仅供参考	微电子制造科学原理与工程技术点击获取本书详情信息订购中著者: Stephen A. Campbell 出版社: 电子工业出版社出版日期: 2003 文献类型: 图书 , 索书号: TN405/K211(Z) 在馆信息图书信息概览图书目录试读信息内容简介著者简介
	2.	封面仅供参考	The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication(Second Edition) 点击获取本书详情信息订购中著者: Campbell Stephen A 出版社: 电子工业出版社出版日期: 2003.4 文献类型: 图书 , 索书号: TN405/C187 在馆信息图书信息概览图书目录试读信息内容简介著者简介

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